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Oberflächenanalytische Charakterisierung von metallischen Verunreinigungen und Oxiden auf GaAs

Der Autor entwickelt ein Verfahren zum quantitativen Nachweis von metallischen Spurenelementen, das es möglich macht, Oberflächenbelegungen auf GaAs mit sehr geringen Konzentrationen quantitativ nachzuweisen.

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DATEIGRÖSSE 1.42 MB
ISBN 9783824420919
AUTOR Frank Schröder-Oeynhausen
DATEINAME Oberflächenanalytische Charakterisierung von metallischen Verunreinigungen und Oxiden auf GaAs.pdf
VERöFFENTLICHUNGSDATUM 07/03/2020

Die Anwender der GaAs-Technologie stellen in den letzten Jahren zunehmend höhere Anforderungen an die Reinheit der Waferoberfläche. Dies betrifft in besonderem Maße den Gehalt an metallischen Verunreinigungen. Der Scheibenhersteller ist daher an einer detaillierten und quantitativen Analyse von Metallverunreinigungen auf der GaAs-Oberfläche

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